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产品介绍

本公司所有的炉 (可进行TEST)

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TNBF-6565 Baking Furnace (双面Heater式)
※单元(mm)
Heat zone 650 x 650 x 600H ※可根据客户需求改变设计
Max temp 1500℃ ∼ 2900℃
真空度 达到10(-2) torr范围 ※设置Diffusion Pump时，达到10(-5) torr范围
使用 Gas H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility Power 90KVA, 冷却水、工程gas, Air
Optional items
  • Zone 控制方式可根据客户需求制作
  • 强行制冷system
  • 基于Air cylinder的自动DOOR OPEN方式
  • CE、SEMI规格认证
TNBF-9090 多层式 Heater Furnace
※单元(mm)
Heat zone 1000 x 1000 x 650H, 6层 ※SIZE及层数可根据客户需求改变设计
Max temp 1500℃ ∼ 2900℃
真空度 达到10(-2) torr范围※设置Diffusion Pump时，达到10(-5) torr范围
使用 Gas H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility Power 180KVA, 冷却水、工程gas, Air
Optional items
  • Zone 控制方式可根据客户需求制作
  • 强行制冷system
  • 基于Air cylinder的自动DOOR OPEN方式
  • CE、SEMI规格认证
特征
  • 1) 采用将试料台直接放到Heater上方，从上下进行烧制的方式温度分布卓越
  • 2) 相比于炉的容积，有效加热zone更大，因而热效率高、耗电低、工程gas的消耗量少
TNRST-2000 Pusher式四边形连续碳管炉
※单元(mm)
Heat zone 2000L ∼ 8000L x 1000W x 70H ※可根据客户需求改变设计
Max temp 2400℃ ※可根据客户需求改变，最高2800℃
Heater Graphite Rod Type Heater
绝热材料 Graphite成型绝热材料
Rail Graphite
Conveyor Pusher or Roll to Roll 方式
使用 Gas N2, Ar
Utlity Power 200KVA, 冷却水、工程gas, air
用途
  • 1) Graphitizing and Carbonization of Graphite Sheet
  • 2) SiC产品烧结
  • 3) C/C composite烧结
  • 4) Graphite Powder等多种产品的热处理
Zone控制方式 Optical Pyrometer 控制
TNOST-7500 Pusher式Round Type连续碳管炉
※单元(mm)
Heat zone 260 Dia. x 7500L ※可根据客户需求改变设计
Max temp 2900℃ ※可根据客户需求在1000～2900℃的范围内进行改变
Furnace 本体尺寸 9900L x 1100W x 1100H
Furnace 安装面积 23000L x 7000W x 3000H
Heater Graphite Round Type Heater
绝热材料 Graphite成型绝热材料
Rail Gaphite
使用 Gas N2(可达到2400℃)、Ar
Utlity Power 500KVA、冷却水、工程gas、air
用途
  • 1) Graphitizing and Carbonization of Graphite Sheet
  • 2) SiC产品烧结
  • 3) C/C composite 烧结
  • 4) Graphite Powder等多种产品的热处理
Zone控制方式 Optical Pyrometer控制
TNMA-N1 (专利) 多层式MULTI-气氛炉
※单元(mm)
Heat zone 客户需求
Heater Al2O3 Sheath Heater
绝热材料 Al2O3成型绝热材料
气体 大气、N2、Ar、NH3、O2等各种gas
试料装载台 Al2O3 Plate
特征
  • 1) Ar、N2、H2、NH3、O2等的各种气体下使用
  • 2) 借助多层式Heater结构，温度分布更加出色
  • 3) 炉的内部形成Al2O3环境，污染少
  • 4) Heater Zone可用同种材料制造
    钛绝热材料-钛加热器、Graphite Heater-Graphite 绝热材料、
    SUS 绝热材料-SUS Heater、Cu绝热材料-Cu Heater
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