써모니크

TNBF-6565 Baking Furnace (양면 Heater방식)

※단위(mm)

Heat zone	650 x 650 x 600H ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp	1500℃ ∼ 2900℃
진공도	10(-2) torr대 ※Diffusion Pump 부착시 10(-5) torr대
사용 Gas	H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility	Power 90KVA, 냉각수, 공정gas, Air
Optional items	Zone 제어방식은 소비자 요구에 맞게 제작 강제 냉각system Air cylinder방식에 의한 자동DOOR OPEN 방식 CE, SEMI 규격인증

TNBF-9090 다단식 Heater Furnace

※단위(mm)

Heat zone	1000 x 1000 x 650H, 6단 ※SIZE 및 단수는 소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp	1500℃ ∼ 2900℃
진공도	10(-2) torr대 ※Diffusion Pump 부착시 10(-5) torr대
사용 Gas	H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility	Power 180KVA, 냉각수, 공정gas, Air
Optional items	Zone 제어방식은 소비자 요구에 맞게 제작 강제냉각system Air cylinder방식에 의한 자동DOOR OPEN 방식 CE, SEMI 규격인증
특징	1) Heater위에 시료대를 직접 올려놓고 상,하에서 소성을 하는 방식으로 탁월한 온도분포 2) 로의 용적에 비해 유효가열zone이 넓어서 열효율, 소비전력, 공정gas의 소모량이 적음

TNGF-4410 사면 HEATER TYPE (사각TYPE CHAMBER)

※단위(mm)

TNGF-4609 육면 HEATER TYPE (사각TYPE CHAMBER)

※단위(mm)

Heat zone	900W x 1100D x 850H ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp	1850℃
진공도	10(-5) torr대 Diffusion Pump + MBP + Rotary Pumping
사용 Gas	N2, Ar, 진공
Utility	Power 400KVA, 냉각수, 공정gas, Air
Heater	Graphite Rod Type Heater 상/하/좌/우/전/후 6면가열방식
단열재	Graphite 성형단열재
Zone 제어방식	4 Zone 제어방식
Inner Box	Graphite inner box내 Tungsten Plate 부착
냉각장치	강제 냉각방식 부착

TNGF-4614 육면 HEATER TYPE (사각TYPE CHAMBER)

※단위(mm)

Heat zone	1400W x 1400D x 800H ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp	2650℃
진공도	치환용 Dry pump 사용
사용 Gas	N2, Ar
Utility	Power 800KVA, 냉각수, 공정gas, Air
Heater	Graphite Rod Type Heater 상/하/좌/우/전/후 6면가열방식
단열재	Graphite 성형단열재
Zone 제어방식	4 Zone 제어방식 Binder Trap

TNGF-0405 사면 HEATER TYPE (ROUND TYPE CHAMBER)

※단위(mm)

TNGF-0006 ROUNDE TYPE HEATER (ROUND TYPE CHAMBER)

※단위(mm)

TNGF-00T02 ROUND TYPE HEATER(TOP LOADING 방식

※단위(mm)

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