본문 바로가기 주메뉴 바로가기

제품소개

폐사 보유로(Test가능)

홈 > 제품소개 > 폐사 보유로(Test가능)
TNBF-6565 Baking Furnace (양면 Heater방식)
※단위(mm)
Heat zone 650 x 650 x 600H ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp 1500℃ ∼ 2900℃
진공도 10(-2) torr대 ※Diffusion Pump 부착시 10(-5) torr대
사용 Gas H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility Power 90KVA, 냉각수, 공정gas, Air
Optional items
  • Zone 제어방식은 소비자 요구에 맞게 제작
  • 강제 냉각system
  • Air cylinder방식에 의한 자동DOOR OPEN 방식
  • CE, SEMI 규격인증
TNBF-9090 다단식 Heater Furnace
※단위(mm)
Heat zone 1000 x 1000 x 650H, 6단 ※SIZE 및 단수는 소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp 1500℃ ∼ 2900℃
진공도 10(-2) torr대 ※Diffusion Pump 부착시 10(-5) torr대
사용 Gas H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility Power 180KVA, 냉각수, 공정gas, Air
Optional items
  • Zone 제어방식은 소비자 요구에 맞게 제작
  • 강제냉각system
  • Air cylinder방식에 의한 자동DOOR OPEN 방식
  • CE, SEMI 규격인증
특징
  • 1) Heater위에 시료대를 직접 올려놓고 상,하에서 소성을 하는 방식으로 탁월한 온도분포
  • 2) 로의 용적에 비해 유효가열zone이 넓어서 열효율, 소비전력, 공정gas의 소모량이 적음
TNRST-2000 Pusher식 사각 연속단만로
※단위(mm)
Heat zone 2000L ∼ 8000L x 1000W x 70H ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp 2400℃ ※소비자의 요구에 2800℃까지 변경 가능
Heater Graphite Rod Type Heater
단열재 Graphite 성형단열재
Rail Graphite
Conveyor Pusher or Roll to Roll 방식
사용 Gas N2, Ar
Utlity Power 200KVA, 냉각수, 공정gas, air
용도
  • 1) Graphitizing and Carbonization of Graphite Sheet
  • 2) SiC 제품 소결
  • 3) C/C composite 소결
  • 4) Graphite Powder등 다양한 제품의 열처리
Zone 제어방식 Optical Pyrometer 제어
TNOST-7500 Pusher식 Round Type 연속단만로
※단위(mm)
Heat zone 260 Dia. x 7500L ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp 2900℃ ※소비자의 요구에 맞게 1000 ∼2900℃까지 변경 가능
Furnace 본체치수 9900L x 1100W x 1100H
Furnace 설치면적 23000L x 7000W x 3000H
Heater Graphite Round Type Heater
단열재 Graphite 성형단열재
Rail Gaphite
사용 Gas N2(2400℃까지), Ar
Utlity Power 500KVA, 냉각수, 공정gas, air
용도
  • 1) Graphitizing and Carbonization of Graphite Sheet
  • 2) SiC 제품 소결
  • 3) C/C composite 소결
  • 4) Graphite Powder등 다양한 제품의 열처리
Zone 제어방식 Optical Pyrometer 제어
TNMA-N1 (특허) 다단식 MULTI-분위기로
※단위(mm)
Heat zone 소비자 요구
Heater Al2O3 Sheath Heater
단열재 Al2O3 성형단열재
분위기 대기, N2, Ar, NH3, O2등 각종gas
시료적재대 Al2O3 Plate
특징
  • 1) Ar, N2, H2, NH3, O2등의 각종분위기 사용
  • 2) 다단식 Heater 구조로 온도분포가 뛰어남
  • 3) 로의 내부가 Al2O3 구조로 오염이 적음
  • 4) Heater Zone은 동종 재료로 제작 가능
    티탄단열재-티탄히터, Graphite Heater-Graphite 단열재,
    SUS 단열재-SUS Heater, Cu단열재-Cu Heater
top