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제품소개

분위기로

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TNTC-A Tungsten Heater(사각 Chamber)
※단위(mm)
Heat zone 650 x 650 x 800H ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp 사용 1800℃
진공 치환용 Rotary Pump 진공
Heater Tungsten Rod Heater
단열재 세라믹단열재, Wet gas를 사용하기 위한 Bubbling System, 빠른 냉각을 위한 강제냉각방식
분위기 N2 + H2, Ar
Utility Power 100KVA, 냉각수, 공정Gas, Air
특징 단열성이 좋아 소비전력이 적음
Optional items 산소분압조절장치
TNTC-B Tungsten Heater(사각 Chamber)
※단위(mm)
Heat zone 550 x 550 x 600H ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능
Max temp 사용 1800℃
진공 치환용 Rotary Pump 진공
Heater Tungsten Rod Heater
단열재 세라믹단열재, Wet gas를 사용하기 위한 Bubbling System, 빠른 냉각을 위한 강제냉각방식
분위기 N2 + H2, Ar
Utility Power 70KVA, 냉각수, 공정Gas, Air
특징 단열성이 좋아 소비전력이 적음, A type보다 저렴한 가격
Optional items 산소분압조절장치
TNMA-N1 (특허) 다단식 MULTI-분위기로
※단위(mm)
Heat zone 소비자 요구
Heater Al2O3 Sheath Heater
단열재 Al2O3 성형단열재
분위기 대기, N2, Ar, NH3, O2등 각종gas
시료적재대 Al2O3 Plate
특징
  • 1) Ar, N2, H2, NH3, O2등의 각종분위기 사용
  • 2) 다단식 Heater 구조로 온도분포가 뛰어남
  • 3) 로의 내부가 Al2O3 구조로 오염이 적음
  • 4) Heater Zone은 동종 재료로 제작 가능
    티탄단열재-티탄히터, Graphite Heater-Graphite 단열재,
    SUS 단열재-SUS Heater, Cu단열재-Cu Heater
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