써모니크

TNBF-6565 Baking Furnace (両面ヒーター方式)

※単位(mm)

Heat zone	650 x 650 x 600H ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
Max temp	1500℃ ∼ 2900℃
真空度	10（-2）torr帯 ※Diffusion Pump 付着時に10(-5) torr帯
使用ガス	H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility	Power 90KVA, クーラント, 工程ガス, エア
Optional items	Zoneの制御方式はお客様のニーズに合わせて製作強制冷却システムエアシリンダ方式による自動DOOR OPEN方式 CE、SEMI規格認証

TNBF-9090 多段式加熱炉

※単位(mm)

Heat zone	1000 x 1000 x 650H, 6段 ※サイズ及び段数はお客様のニーズに合わせて変更可能
Max temp	1500℃ ∼ 2900℃
真空度	10(-2) torr帯 ※Diffusion Pump 付着時に10(-5) torr帯
使用ガス	H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility	Power 180KVA, クーラント, 工程ガス, エア
Optional items	Zoneの制御方式はお客様のニーズに合わせて製作強制冷却システムエアシリンダ方式による自動DOOR OPEN方式 CE、SEMI規格認証
特徴	1) Heater上に試料台を直接乗せて上下で焼成を行う方式で優れた温度分布 2) 炉の容積に比べ有効加熱Zoneが広く、熱効率、消費電力、工程ガスの消費量が少ない

TNGF-4410 四面ヒータータイプ(四角タイプのチャンバー)

※単位(mm)

TNGF-4609 六面ヒータータイプ(四角タイプのチャンバー)

※単位(mm)

Heat zone	900W x 1100D x 850H ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
Max temp	1850℃
真空度	10(-5) torr帯 Diffusion Pump + MBP + Rotary Pumping
使用ガス	N2, Ar, 真空
Utility	Power 400KVA, クーラント, 工程ガス, エア
Heater	Graphite Rod Type Heater 上/下/左/右/前/後6面加熱方式
断熱材	グラファイト成形断熱材
Zone制御方式	4 Zone制御方式
Inner Box	Graphite inner box内にTungsten Plateを付着
冷却装置	強制冷却方式を付着

TNGF-4614 六面 HEATER TYPE (四角タイプのチャンバー)

※単位(mm)

Heat zone	1400W x 1400D x 800H ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
Max temp	2650℃
真空度	置換用Dry Pumpを使用
使用ガス	N2, Ar
Utility	Power 800KVA, クーラント, 工程ガス, エア
Heater	Graphite Rod Type Heater 上/下/左/右/前/後6面加熱方式
断熱材	グラファイト成形断熱材
Zone制御方式	4 Zone制御方式 Binder Trap

TNGF-0405 四面 HEATER TYPE (ラウンドタイプのチャンバー)

※単位(mm)

TNGF-0006 ラウンドタイプヒーター (ラウンドタイプのチャンバー)

※単位(mm)

Heat zone	650 Dia. x 1520D ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
Max temp	1800℃
真空度	10(-2) torr帯
Utility	Power 150KVA, クーラント, 工程ガス, エア
Heater	Graphite Rod Type Heater
断熱材	グラファイト成形断熱材
Zone制御方式	2 Zone制御方式
雰囲気	ARキャリア運転方式

TNGF-00T02 ラウンドタイプヒーター(上積み方式)

※単位(mm)

Heat zone	260 Dia. x 350H ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
Max temp	使用 2800℃ 最高 3000℃
Utility	Power 130KVA, クーラント, 공정Gas
Heater	Graphite Round Type Heate
断熱材	Graphite Soft Felt
雰囲気	Ar
설치공간	2500W x 2000D x 1900H(mm)

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