特殊炉
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N2AF - 3RP N2 Atmosphere Multi-Furnace
※単位(mm)
| Heat zone | 200Φ X 400L |
|---|---|
| Uniformity zone | 160W X 10H X 370L（上/下2段、Furnace3個） |
| 使用温度 | 400℃ |
| 発熱体 | Radiant Pad Heater |
| 雰囲気 | 質素 |
| 温度制御 | POrogrammable PID Digital Control |
| Power | 220V, 三相, 23KVA |
| クーラント | 5ℓ/min |
EDWF-1260 Elevating Type 脱脂炉
※単位(mm)
| Heat zone size | 1260W x 640L x 550H |
|---|---|
| Heater | Kanthal AF |
| Temp | 320℃ +/-8℃ |
| Inlet gas | N2 + エア |
| 脱臭炉 | 380V, 三相, 24KW |
| power | 380V, 三相, 115KVA |
脱脂炉
※単位(mm)
| 모델명 | DWF - 8 - 8 - 8 | DWF - 4 - 4 - 7 |
|---|---|---|
| Heat zone | 800W X 800D X 800H | 400W X 400D X 700H |
| 使用温度 | 600℃ | 600℃ |
| 発熱体 | NCH - 1 | 316 stainless steel sheath heater |
| 雰囲気 | 大気 | N2 |
| 温度制御 | POrogrammable PID Digital Control | POrogrammable PID Digital Control |
| Power | 220V, 三相, 18KVA | 380V, 三相, 35KVA |
| After Burner | - 使用温度 : 800℃ - 発熱体 : Kanthal A1 - 温度制御 : POrogrammable PID Digital Control |
量産用 Tri Arc Furnace
※単位(mm)
| 使用温度 | 2600℃ 以上 |
|---|---|
| 雰囲気 | Ar |
| 電力 | 150 KVA |
| アーク電源 | 600 A |
実験用 Tri Arc Furnace
※単位(mm)
| 使用温度 | 2600℃ 以上 |
|---|---|
| 雰囲気 | Ar |
| 電力 | 150 KVA |
| アーク電源 | 600 A |
Single Arc Furnace
※単位(mm)
| Size of Chamber | 140Φ X 90H |
|---|---|
| Max temp | Higher than 3000℃ |
| Power | 300A DC |
| Components |
|
| Accessory | 300A Power supply |
単結晶成長炉
※単位(mm)
| 使用温度 | Max. 1100℃ |
|---|---|
| 内部寸法 | 300 Dia. x 500L |
| Heater | SiC, Kanthal A1 |
| Power | 15 KW |
