TNBF-6565 Baking Furnace (両面ヒーター方式)
※単位(mm)
Heat zone |
650 x 650 x 600H ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
Max temp |
1500℃ ∼ 2900℃ |
真空度 |
10(-2) torr帯 ※Diffusion Pump 付着時に10(-5) torr帯 |
使用ガス |
H2, N2, Ar, HCl, Cl2 |
Utility |
Power 90KVA, クーラント, 工程ガス, エア |
Optional items |
- Zoneの制御方式はお客様のニーズに合わせて製作
- 強制冷却システム
- エア シリンダ方式による自動DOOR OPEN方式
- CE、SEMI規格認証
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TNBF-9090 多段式加熱炉
※単位(mm)
Heat zone |
1000 x 1000 x 650H, 6단 ※サイズ及び段数はお客様のニーズに合わせて変更可能 |
Max temp |
1500℃ ∼ 2900℃ |
真空度 |
10(-2) torr帯 ※Diffusion Pump 付着時に10(-5) torr帯 |
使用ガス |
H2, N2, Ar, HCl, Cl2 |
Utility |
Power 180KVA, クーラント, 工程ガス, エア |
Optional items |
- Zoneの制御方式はお客様のニーズに合わせて製作
- 強制冷却システム
- エア シリンダ方式による自動DOOR OPEN方式
- CE、SEMI規格認証
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特徴 |
- 1) Heater上に試料台を直接乗せて上下で焼成を行う方式で優れた温度分布
- 2)炉の容積に比べ有効加熱Zoneが広く、熱効率、消費電力、工程ガスの消費量が少ない
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TNRST-2000 Pusher式の四角連続炭化炉
※単位(mm)
Heat zone |
2000L ∼ 8000L x 1000W x 70H ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
Max temp |
2400℃ ※お客様のニーズに合わせて2800℃まで変更可能 |
Heater |
Graphite Rod Type Heater |
断熱材 |
グラファイト成形断熱材 |
Rail |
Graphite |
Conveyor |
PusherまたはRoll to Roll方式 |
使用ガス |
N2, Ar |
Utlity |
Power 200KVA, クーラント, 工程ガス, air |
用途 |
- 1) Graphitizing and Carbonization of Graphite Sheet
- 2) SIC製品焼結
- 3) C/C複合焼結
- 4) Graphite Powderなど各種製品の熱処理
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Zone制御方式 |
Optical Pyrometer 制御 |
TNOST-7500 Pusher式ラウンドタイプの連続炭化炉
※単位(mm)
Heat zone |
260 Dia. x 7500L ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
Max temp |
2900℃ ※お客様のニーズに合わせて1000℃より2900℃まで変更可能 |
炉本体の寸法 |
9900L x 1100W x 1100H |
Furnaceの設置面積 |
23000L x 7000W x 3000H |
Heater |
Graphite Round Type Heater |
断熱材 |
グラファイト成形断熱材 |
Rail |
Gaphite |
使用ガス |
N2(2400℃まで)、Ar |
Utlity |
Power 150KVA、クーラント、工程ガス、エア |
用途 |
- 1) Graphitizing and Carbonization of Graphite Sheet
- 2) SIC製品焼結
- 3) C/C複合焼結
- 4) Graphite Powderなど各種製品の熱処理
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Zone制御方式 |
Optical Pyrometer 制御 |
TNMA-N1 (特許) 多段多のマルチ雰囲気炉
※単位(mm)
Heat zone |
お客様のニーズ |
Heater |
Al2O3 Sheath Heater |
断熱材 |
Al2O3成型断熱材 |
雰囲気 |
大気、N2、Ar、NH3、O2など各種のガス |
시료적재대 |
Al2O3 Plate |
特徴 |
- 1) Ar、N2、H2、NH3、O2等様々な雰囲気で使用
- 2)多段式ヒーター構造で温度分布が良い
- 3)炉の内部がAl2O3構造で汚染が少ない
- 4)ヒーターゾーンは同じ材料で製作可能
チタン断熱材-チタンヒーター、グラファイトヒーター-グラファイト断熱材、
SUS断熱材- SUSヒーター、Cu断熱材-Cuヒーター
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