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製品紹介

弊社保有炉 (TEST可能)

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TNBF-6565 Baking Furnace (両面ヒーター方式)
※単位(mm)
Heat zone 650 x 650 x 600H ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
Max temp 1500℃ ∼ 2900℃
真空度 10(-2) torr帯 ※Diffusion Pump 付着時に10(-5) torr帯
使用ガス H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility Power 90KVA, クーラント, 工程ガス, エア
Optional items
  • Zoneの制御方式はお客様のニーズに合わせて製作
  • 強制冷却システム
  • エア シリンダ方式による自動DOOR OPEN方式
  • CE、SEMI規格認証
TNBF-9090 多段式加熱炉
※単位(mm)
Heat zone 1000 x 1000 x 650H, 6단 ※サイズ及び段数はお客様のニーズに合わせて変更可能
Max temp 1500℃ ∼ 2900℃
真空度 10(-2) torr帯 ※Diffusion Pump 付着時に10(-5) torr帯
使用ガス H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility Power 180KVA, クーラント, 工程ガス, エア
Optional items
  • Zoneの制御方式はお客様のニーズに合わせて製作
  • 強制冷却システム
  • エア シリンダ方式による自動DOOR OPEN方式
  • CE、SEMI規格認証
特徴
  • 1) Heater上に試料台を直接乗せて上下で焼成を行う方式で優れた温度分布
  • 2)炉の容積に比べ有効加熱Zoneが広く、熱効率、消費電力、工程ガスの消費量が少ない
TNRST-2000 Pusher式の四角連続炭化炉
※単位(mm)
Heat zone 2000L ∼ 8000L x 1000W x 70H ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
Max temp 2400℃ ※お客様のニーズに合わせて2800℃まで変更可能
Heater Graphite Rod Type Heater
断熱材 グラファイト成形断熱材
Rail Graphite
Conveyor PusherまたはRoll to Roll方式
使用ガス N2, Ar
Utlity Power 200KVA, クーラント, 工程ガス, air
用途
  • 1) Graphitizing and Carbonization of Graphite Sheet
  • 2) SIC製品焼結
  • 3) C/C複合焼結
  • 4) Graphite Powderなど各種製品の熱処理
Zone制御方式 Optical Pyrometer 制御
TNOST-7500 Pusher式ラウンドタイプの連続炭化炉
※単位(mm)
Heat zone 260 Dia. x 7500L ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
Max temp 2900℃ ※お客様のニーズに合わせて1000℃より2900℃まで変更可能
炉本体の寸法 9900L x 1100W x 1100H
Furnaceの設置面積 23000L x 7000W x 3000H
Heater Graphite Round Type Heater
断熱材 グラファイト成形断熱材
Rail Gaphite
使用ガス N2(2400℃まで)、Ar
Utlity Power 150KVA、クーラント、工程ガス、エア
用途
  • 1) Graphitizing and Carbonization of Graphite Sheet
  • 2) SIC製品焼結
  • 3) C/C複合焼結
  • 4) Graphite Powderなど各種製品の熱処理
Zone制御方式 Optical Pyrometer 制御
TNMA-N1 (特許) 多段多のマルチ雰囲気炉
※単位(mm)
Heat zone お客様のニーズ
Heater Al2O3 Sheath Heater
断熱材 Al2O3成型断熱材
雰囲気 大気、N2、Ar、NH3、O2など各種のガス
시료적재대 Al2O3 Plate
特徴
  • 1) Ar、N2、H2、NH3、O2等様々な雰囲気で使用
  • 2)多段式ヒーター構造で温度分布が良い
  • 3)炉の内部がAl2O3構造で汚染が少ない
  • 4)ヒーターゾーンは同じ材料で製作可能
    チタン断熱材-チタンヒーター、グラファイトヒーター-グラファイト断熱材、
    SUS断熱材- SUSヒーター、Cu断熱材-Cuヒーター
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